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武漢安德熱處理設備有限公司
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離子滲氮設備
信息來源:http://www.gzzyw.com.cn/ 作者:離子氮化爐公司 發布時間:2020-08-28 17:37
一﹞離子滲氮工藝對設備的要求
1.真空度
設備的真空爐體具有良好的密封性能,通過真空獲得系統,能夠得到工藝所需要的真空度。
2.電絕緣
零件(陰極)對陽極有良好的電絕緣,以保證工藝正常進行和設備安全。
3.良好的滅弧性能
在得到穩定的輝光放電前,零件表面不可避免地要產生弧光放電,就是輝光穩定后,也有輝光向弧光轉變的情況。而弧光放電的特點是低電壓、大電流放電,這就要求設備具有良好的滅弧性能,不至損壞零件和設備。
4.水冷卻
真空爐體有循環水冷卻,以免溫度過高橡膠密封件受熱損壞。
5.隔熱保溫
真空爐體安裝有隔熱屏,一是為了節約電能,二是減少零件因熱量散發而造成的溫度不均勻。
﹝二﹞離子滲氮設備
離子滲氮成套設備由離子電源﹑真空爐體﹑真空獲得系統﹑測控溫系統﹑供氣系統組成。
1.離子電源
離子電源分為直流離子電源和脈沖離子電源,用戶可根據需要選用。
﹝1﹞直流離子電源
直流離子電源主要包括整流變壓器﹑可控整流電路﹑L-C振蕩滅弧電路﹑截止反饋電路﹑控制電路。
﹝2﹞脈沖離子電源
脈沖離子電源是在直流離子電源的基礎上加裝由IGBT元件及控制電路組成的斬波器,通過斬波得到占空比可調的脈沖電流。
脈沖離子電源與直流離子電源相比,能較好地改善空心陰極效應。
脈沖離子電源是在每個工作周期內(頻率為1KHz時,周期為1ms)電流回零,輝光熄滅一次,因而提高了滅弧效率。
脈沖離子電源能實現電壓、電流的獨立調節,能滿足不同的工藝要求。
脈沖離子電源與直流離子電源相比,節能在20/100-25/100以上。
2.真空爐體
設備的真空爐體分井式(零件吊掛)、鐘罩式(零件堆放)和綜合式三種形式。
真空爐體由爐筒和爐底盤組成。
爐筒體用鋼板焊接而成,為雙層結構,中間可通水冷卻。各密封面﹝槽﹞用真空橡膠密封圈密封。爐內裝有不銹鋼隔熱屏﹑陰極盤。爐筒上開有觀察窗。進氣接口裝在爐體頂部。
爐底盤上裝有陰極輸電接口﹑測溫接口﹑測壓接口﹑抽氣接口等。
陰極輸電裝置由陰極桿、密封件、絕緣墊、承重柱和氣隙套組成。陰極引線通過陰極輸電裝置與陰極盤相聯。
真空爐體有良好的密封,以保證工藝對真空度的要求。
根據加工零件尺寸和生產能力的要求,真空爐體有足夠的工作容積。
3.真空獲得系統
真空獲得系統由旋片式機械真空泵﹑真空電磁閥﹑真空蝶閥組成,通過真空管道與真空爐體連接。
電阻式真空計用于測量真空爐體真空度。
4.測控溫系統
測控溫系統由熱電偶﹑控溫電路和控溫儀表組成。由熱電偶得到溫度毫伏信號,通過控溫儀表PID調節和相關電路,準確控制工件溫度。
5.供氣系統
供氣系統由氨氣瓶、氨氣減壓器、流量計和輸氣管道組成。
設備配有兩只流量計,一只用于氨氣流量調節,一只用于滲碳氣流量調節,兩種氣體經過流量計后混合通入爐內,通過調節流量比例可實現氮碳共滲工藝(軟氮化)。
﹝三﹞離子滲氮設備的主要技術參數
輸入電源: 三相 380V 50Hz
直流輸出電壓: 0—1000V可調
大輸出電流(直流電源):
峰值電流(脈沖電源):
平均電流:
占空比(脈沖電源): 0.10—0.85可調
脈沖頻率(脈沖電源): 1000Hz
控制方式(脈沖電源): 定頻調寬
輸出波形(脈沖電源): 矩形方波
爐體有效工作容積:
工作溫度: ≦650℃
大裝爐量:
很小真空度: ≤6.67Pa
壓升率: ≤0.133Pa/min